Coventor SEMulator3D
Материал из PLMpedia
Программа Coventor SEMulator3D предназначена для моделирования CMOS технологического процесса, широко применяющегося для изготовления полупроводниковых интегральных устройств.
SEMulator3D построен на базе вышедшего ранее и хорошо себя зарекомендовавшего продукта MEMulator, призванного моделировать MEMS технологический процесс. Здесь тоже в качестве исходной информации используется набор плоских масок, по которым в соответствии с описанием CMOS технологических этапов формируется трехмерная структура в точности повторяющая реальное устройство. Специальный инструментарий позволяет делать сечения в разных плоскостях и сравнивать их с исходными масками, а также наглядно документировать.
